BIBO (Bag-in-Bag-out)

1.关押设备

2. 操作员受到保护，外部环境保持干净，同时去除旧过滤器 (HEPA) 内的污染物，旧过滤器 (HEPA) 包裹固定在袋子内，并准备好在过程后去除。